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      涂層測厚儀使用中經(jīng)常遇到的問題和解決方法

      更新時(shí)間:2011-07-19      點(diǎn)擊次數(shù):1648

      有些剛剛接觸我們儀器的用戶朋友,在使用儀器的過程中總會遇到這樣或那樣的問題。在這里我們以涂層測厚儀為例給大家作個(gè)簡要的講解。
      1.為什么儀器有時(shí)測量不準(zhǔn)確?
         這是一個(gè)比較籠統(tǒng)的問題。因?yàn)榫蛢x器不準(zhǔn)的原因來說是多種多樣的。單對涂層測厚儀來說,主要有下面幾種原因引起測量不準(zhǔn)確。
       (1)強(qiáng)磁場的干擾。我們曾做過一個(gè)簡單實(shí)驗(yàn),當(dāng)儀器在1萬V左右的電磁場附近工作時(shí),測量會受到嚴(yán)重的干擾。如果離電磁場非常近時(shí)還有可能會發(fā)生死機(jī)現(xiàn)象。
       (2)人為因素。這中情況經(jīng)常會發(fā)生在新用戶的身上。涂層測厚儀之所以能夠測量到微米級就因?yàn)樗軌虿扇〈磐康奈⑿∽兓阉D(zhuǎn)化成為數(shù)字信號。在使用儀器測量過程中如果用戶對本儀器不熟悉就可能使探頭偏離被測機(jī)體,使磁通量發(fā)生變化造成錯(cuò)誤測量。所以建議用戶朋友初次使用本儀器時(shí),要先掌握好測量方法。探頭的放置方式對測量有很大影響,在測量中應(yīng)使探頭與試樣表面保持垂直。并且探頭的放置時(shí)間不宜過長,以免造成基體本身磁場的干擾。
        (3)在系統(tǒng)矯正時(shí)沒有選擇合適的基體。基體zui小平面為7mm,zui小厚度為0.2mm,低于此臨界條件測量是不可靠的。
       (4)附著物質(zhì)的影響。本儀器對那些妨礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質(zhì)敏感。因此必須清除附著物質(zhì),以保證探頭與覆蓋層表面直接接觸。在進(jìn)行系統(tǒng)矯正時(shí),選擇的基體的表面也必須是裸露的、光滑的。
        (5)儀器發(fā)生故障。此時(shí)可以和技術(shù)人員交流或者返廠維修。

      2.測量過程中,為什么有時(shí)候測量數(shù)據(jù)會出現(xiàn)明顯偏差?
         測量過程當(dāng)中由于探頭放置方式不正確或者外界干擾因素的影響可能會造成測量數(shù)據(jù)明顯偏大。這時(shí)可以按住CAL鍵把該數(shù)據(jù)清除以免進(jìn)入數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)中去。

      3.如何系統(tǒng)校準(zhǔn)?
         校準(zhǔn)的方法、種類,這是新用戶經(jīng)常會遇到的問題。系統(tǒng)校準(zhǔn)、零點(diǎn)校準(zhǔn)還有兩點(diǎn)校準(zhǔn)其實(shí)都已經(jīng)在說明書上寫到了,用戶只需仔細(xì)閱讀就可以了。需要注意的是:在校準(zhǔn)鐵基時(shí)是多測量幾次以防止錯(cuò)誤操作;系統(tǒng)校準(zhǔn)的樣片要按照從小到大的順序進(jìn)行。如果個(gè)別標(biāo)準(zhǔn)片丟失可以找與其數(shù)值相近的樣片代替。

      4.如何選擇合適的儀器型號?
         選擇什么型號的儀器,要根據(jù)用戶測量物體的厚度來定。一般來說測量1200um以下的物體時(shí)選擇MC-2000A型,對0~1200um的厚度來說該型號已經(jīng)達(dá)到2%~3%的度,而且對100um以下的厚度值它也能夠很好的確保測量精度。如果測量物體厚度在1200~5000um,建議選擇MC-2000C型測厚儀。更厚的話就要選擇MC-2000D增強(qiáng)型測厚儀。

      5.有時(shí)開機(jī)出現(xiàn)干擾是什么原因?
          開機(jī)后儀器屏幕出現(xiàn)測量狀態(tài)箭頭不能再次進(jìn)行測量,就說明儀器受到了干擾。主要有兩個(gè)原因:
        (1)開機(jī)時(shí)探頭離鐵基太近,因?yàn)殍F基磁場的影響而受到了干擾。
        (2)沒插好探頭或者探頭線有損傷。
       

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